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经营范围
发明名称
模组化化学药剂传送单元
摘要
一种液体化学药剂传送系统,其包括复数个至少部分备援帮浦模组,每一模组包括一可程式化逻辑控制器、一人机介面及一液体抽吸功能性且其可操作以经由一供应线将一液体化学药剂传送至至少一使用点;一电脑网路,其互连该复数个至少部分备援帮浦模组;以及软体,其用于协调该复数个至少部分备援帮浦模组之操作。
申请公布号
TW200911674
申请公布日期
2009.03.16
申请号
TW097127050
申请日期
2008.07.16
申请人
马柏特化学系统有限公司
发明人
亚伯拉罕 皮查斯
分类号
B67D5/02(2006.01);B67D5/08(2006.01);H01L21/02(2006.01)
主分类号
B67D5/02(2006.01)
代理机构
代理人
陈长文
主权项
地址
以色列
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