| 摘要 |
揭示一种尺寸较传统光阻用聚合物更小的光敏化合物，其具有清楚定义的结构；和一种包括有此光敏化合物的光阻组合物。此光敏化合物具有以下式1结构#P 097135174P01.bmp在式1中，x是1、2、3、4或5，y是2、3、4、5或6，且R和R'分别是是具有1~30个碳原子的直链型或环型的脂肪性或芳香性碳氢化物基。此外，本发明光阻组合物包含1~85％(重量％)之式1的光敏化合物；相对于100重量份之光敏化合物来说，0.05~15重量分之光酸产生剂；和相对于100重量份之光敏化合物来说，200~5000重量份之一有机溶剂。 |
