测试装置、程序、及存储介质

摘要

本发明提供测试装置，具有，根据所给与的时序信号，将所述被测器件的测试用测试图案提供给所述被测器件的多个测试模块、生成基准时钟的基准时钟生成部、对应所述测试模块设置，根据所述基准时钟生成所述时序信号，将所述时序信号提供给各个对应的所述测试模块的多个时序供给部、根据各个所述测试模块接受所述时序信号后，到输出所述测试图案为止的各个所述测试模块的延迟量，控制各个所述时序供给部输出所述时序信号的时序，以使所述多个测试模块输出的各个所述测试图案的时序大致相同的控制部。

主权项

1、一种测试装置，是测试被测器件的测试装置，包括；根据所给与的时序信号，将所述被测器件的测试用测试图案提供给所述被测器件的多个测试模块、生成基准时钟的基准时钟生成部、对应所述多个测试模块设置，根据所述基准时钟生成所述时序信号，将所述时序信号提供给各个对应的所述测试模块的多个时序供给部、根据各个所述测试模块接受所述时序信号后，到输出所述测试图案为止的各个所述测试模块的延迟量，控制各个所述时序供给部输出所述时序信号的时序，以使所述多个测试模块输出的各个所述测试图案的时序大致相同的控制部。