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发明名称
LARGE-FIELD UNIT-MAGNIFICATION PROJECTION OPTICAL SYSTEM
摘要
申请公布号
EP2024791(A1)
申请公布日期
2009.02.18
申请号
EP20060828233
申请日期
2006.12.04
申请人
SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT CO., LTD.
发明人
LI, TIEJUN;HUANG, LING;WEI, JUN
分类号
G02B17/08;G03F7/20
主分类号
G02B17/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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