加热腔体装置

摘要

一种加热腔体装置，供液晶显示器电路阵列制程使用。加热腔体装置包含加热腔体、封闭盖体以及清洁装置。加热腔体具有腔体开口。封闭盖体具有内面，可位于腔体开口处，用以遮盖腔体开口。清洁装置具有清洁面。封闭盖体于移开腔体开口处时接触清洁面。清洁装置进一步具有固定件，供固定清洁面。封闭盖体进一步包含驱动装置，用以驱动封闭盖体定位于腔体开口处。驱动装置包含汽缸及悬臂。悬臂之两端系分别与汽缸及封闭盖体连接，当汽缸驱动悬臂时，封闭盖体与悬臂连动。