用于碟形物件之湿式处理的装置及方法

摘要

揭示一种碟形物件之湿式处理的装置，其系包含：一旋转夹头用于夹持及旋转该碟形物件，以及一内缘喷嘴用于分配处理液至该碟形物件之第一表面的第一周边区域。其中该第一表面面向该旋转夹头，以及该第一周边区域的定义为该第一表面中有内半径(ri)的区域，该内半径(ri)大于该碟形物件之半径(ra)减1公分，其中该内缘喷嘴系以静止方式安置在该碟形物件(于放在该旋转夹头上时)与该旋转夹头之间，其中为了向该碟形物件之第一表面供给一处理液，该内缘喷嘴通过一管路进给，该管路系以静止方式配置而且穿过该旋转夹头的。