摘要 |
本发明的课题是在于使资讯的记忆可能的半导体装置的性能提升。其解决手段是以下部电极BE侧的第1层ML1及上部电极TE侧的第2层ML2来形成记忆元件RM的记忆层ML。第1层ML1是使Cu,Ag,Au,Al,Z,Cd的第1元素群的至少1种类含有20原子%以上70原子%以下,使V,Nb,Ta,Cr,Mo,W,Ti,Zr,Hf,Fe,Co,Ni,Pt,Pd,Rh,Ir,Ru,Os,镧系元素的第2元素群的至少1种类含有3原子%以上40原子%以下,使S,Se,Te的第3元素群的至少1种类含有20原子%以上60原子%以下。第2层ML2是使第1元素群的至少1种类含有5原子%以上50原子%以下,使第2元素群的至少1种类含有10原子%以上50原子%以下,使氧含有30原子%以上70原子%以下。 |