等离子体刻蚀机

摘要

一种等离子体刻蚀机，包括安装在主机柜内的立式结构反应室，位于主机柜上的电气自动控制单元，与反应室连接的送气单元及抽气单元，与抽气单元连接的真空泵，高频电源及匹配器；固定环、下法兰采用螺钉固定，使电感线圈和石英反应管间有一致的距离，保证了石英反应管内有一个均匀的电磁场和等离子体场，以及其内设置匀流板保证气体均匀的送进和抽走，刻蚀的稳定、均匀；盖板两侧设置定位杆，避免了密封圈污染；薄膜规以超纯陶瓷传感器室为基础构成，并用带滤芯式夹紧连接器支架固定，固定后保持垂直方向，防止了粉尘粘附到传感器上使用寿命长；真空泵采用水冷双级旋片泵，滑片采用非金属材料，泵口设过滤器，减少磨损，延长泵的使用寿命。

主权项

1.一种等离子体刻蚀机，它包括安装在主机柜内的反应室，位于主机柜上的电气自动控制单元，与反应室连接的送气单元及抽气单元，与抽气单元连接的真空泵，为反应室电离反应气体提供电能的高频电源及匹配器，其特征在于：反应室为立式结构，反应室上方连接送气单元、下方连接抽气单元，反应室的送气端设有送气匀流板、抽气端设有抽气匀流板；反应室上方为盖板，盖板设有定位装置。