稳定的含水二氧化硅分散液

摘要

本发明提供含有二氧化硅粉末的含水分散液，它在2-6的pH范围内稳定，其中含有提供阳离子的化合物，该化合物在该pH范围内至少部分地溶解，并且该分散液的ζ电位小于或等于0。它是通过将二氧化硅粉末和至少一种提供阳离子的化合物在含水介质中移动的同时接触而制得的。该分散液可用于金属表面的化学-机械抛光。

主权项

1、一种含有二氧化硅粉末的含水分散液，其中二氧化硅含量为10-60重量％，其中-该分散液在2-6的pH范围内稳定，-该分散液还含有至少一种化合物，该化合物以多价阳离子的形式至少部分地溶解在2-6的pH范围内的水溶液中，该阳离子在类硅酸盐环境中作为二氧化硅粉末的颗粒表面的阴离子的组分而稳定，其中-所述化合物是铝化合物，相对二氧化硅的表面，所述铝化合物的量是0.001-0.1mg铝化合物/m2二氧化硅表面，该铝化合物是以氧化物计算的，-在所述类硅酸盐环境中，铝阳离子与二氧化硅表面的硅原子以铝-氧键相连的形式存在，或者铝阳离子代替二氧化硅结构中的硅原子，-该分散液的ζ电位具有小于或等于0的值，和-所述二氧化硅粉末的BET比表面积是50-600m2/g。