发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR QUALITY CONTROL OF SEMICONDUCTOR DEVICES AND INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 GB1464768(A) 申请公布日期 1977.02.16
申请号 GB19740017897 申请日期 1974.04.24
申请人 MODEL E I;OTHERS 发明人
分类号 G01R31/26;G01R31/316;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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