发明名称 Bubbler for use in the washing of semiconductors
摘要
申请公布号 GB2228424(A) 申请公布日期 1990.08.29
申请号 GB19900001127 申请日期 1990.01.18
申请人 SEIICHIRO * AIGO 发明人 SEIICHIRO * AIGO
分类号 B08B3/10;B01F3/04;H01L21/00;H01L21/304 主分类号 B08B3/10
代理机构 代理人
主权项
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