| 摘要 |
本发明公开一种化学药品供给装置，其包括：用于灌入药液之容器罐；缓冲器，其下部设有用于接收该容器罐内之药液后向半导体装备输送之排出阀，在上部形成用于向外部排出包含于该药液里之气泡之气泡排气阀；残量测定装置，以用于测定该容器罐内药液之残量；及体积可变装置，以用于当利用该残量测定装置进行之测定结果为容器罐内之药液残量在基准值以下时，使缓冲器内药液之收容空间收缩及膨胀，从而吸入容器罐内之药液。并且，若测定之容器罐内药液之残量在基准值以下，则自缓冲器侧形成低速真空吸入动作，因此可降低容器罐内之药液之残量而节省材料费用。 |
