发明名称 薄膜图案层的制造方法
摘要 一种薄膜图案层的制造方法,其包括以下步骤:提供一个基板,所述基板具有多个挡墙,所述多个挡墙与所述基板限定有多个收容空间,每一个收容空间具有相互平行的第一侧边及第二侧边,第一侧边与第二侧边的距离为b;提供第一喷嘴,该第一喷嘴沿着第一路线移动,该第一路线位于一个待处理的收容空间的第一侧边与第二侧边之间,与该第一侧边平行,且距离为a;该第一喷嘴对该收容空间喷入墨水;提供第二喷嘴,该第二喷嘴沿着第二路线移动,该第二路线与该第一路线平行,该第二路线与该第一路线的距离c符合以下两个关系式之一:0<c<b-a,及0<c<a;该第二喷嘴对该收容空间喷入墨水;干燥固化收容空间的墨水而形成薄膜图案层。
申请公布号 CN101312115A 申请公布日期 2008.11.26
申请号 CN200710107989.6 申请日期 2007.05.22
申请人 ICF科技有限公司 发明人 周景瑜;王宇宁;黄继震;廖义铭
分类号 H01L21/00(2006.01);H01L21/71(2006.01);H01L21/768(2006.01);H01L21/02(2006.01);H01L51/56(2006.01);H01L51/00(2006.01);G02B5/23(2006.01);H05B33/10(2006.01);H05K3/12(2006.01) 主分类号 H01L21/00(2006.01)
代理机构 北京申翔知识产权代理有限公司 代理人 周春发
主权项 1.一种薄膜图案层的制造方法,其包括以下步骤:提供一个基板,所述基板具有多个挡墙,所述多个挡墙与所述基板限定有多个收容空间,每一个收容空间具有相互平行的第一侧边及第二侧边,第一侧边与第二侧边的距离为b;提供第一喷嘴,该第一喷嘴沿着第一路线移动,该第一路线位于一个待处理的收容空间的第一侧边与第二侧边之间,与该第一侧边平行,且距离为a;该第一喷嘴对该收容空间喷入墨水;提供第二喷嘴,该第二喷嘴沿着第二路线移动,该第二路线与该第一路线平行,该第二路线与该第一路线的距离c符合以下两个关系式之一:0<c<b-a,及0<c<a;该第二喷嘴对该收容空间喷入墨水;干燥固化收容空间的墨水而形成薄膜图案层。
地址 美国加州95054圣塔克来拉市3350史考特大道33号