电感耦合线圈

摘要

本发明涉及微电子技术领域。本发明电感耦合线圈，包括多匝数螺旋线圈，其中所述多匝数螺旋线圈至少为两个，且相互并联连接在一起组成一个三维线圈。本发明的电感耦合线圈的优点和积极效果在于：本发明中，由于具有多个多匝数螺旋线圈，且相互并联连接在一起组成一个三维线圈。而三维线圈在各个空间方向上产生的磁场强度比平面结构更加均匀，因此可以激发更加均匀的等离子体，同时也减小了对气体压力的依赖，在较大的气体压力范围内都能表现出优越的性能。

主权项

1.电感耦合线圈，包括多匝数螺旋线圈(1)，其特征在于所述多匝数螺旋线圈(1)至少为两个，且相互并联连接在一起组成一个三维线圈，位于上层的多匝数螺旋线圈中的各相邻螺旋之间的螺距相同，为主线圈，位于下层的多匝数螺旋线圈外圈的各相邻螺旋之间的螺距小于内圈的各相邻螺旋之间的螺距，为辅线圈(2)。