大探测深度的频域光学相干层析成像装置

摘要

一种大探测深度的频域光学相干层析成像装置，包括一低相干光源，在该低相干光源的照明方向上顺次放置准直透镜和迈克尔逊干涉仪，该迈克尔逊干涉仪包括分光器、样品臂和参考臂，参考臂包括参考臂物镜和参考反射镜，样品臂包括反射镜、样品臂物镜、待测样品和一个置放该待测样品的三维精密平移台；该迈克尔逊干涉仪的输出端连接一光谱仪，该光谱仪由组合衍射光栅、环面聚焦镜和光谱探测阵列组成，该光谱探测阵列通过多路图像采集与模数转换卡与计算机相连。本实用新型通过组合衍射光栅进行光谱折叠，增加了光谱探测的有效探测像素数N，提高了光学相干层析成像系统的探测深度和层析图的信噪比。

主权项

1、一种大探测深度的频域光学相干层析成像装置，其特征在于包括一低相干光源(1)，在该低相干光源(1)的照明方向上顺次放置准直透镜(2)和迈克尔逊干涉仪(3)，该迈克尔逊干涉仪(3)包括分光器(4)、样品臂和参考臂，参考臂包括参考臂物镜(5)和参考反射镜(6)，样品臂包括反射镜(7)、样品臂物镜(8)、待测样品(9)和一个置放该待测样品的三维精密平移台(10)；该迈克尔逊干涉仪(3)的输出端连接一光谱仪(11)，该光谱仪(11)由组合衍射光栅(12)、环面聚焦镜(13)和光谱探测阵列(14)组成，所述的组合衍射光栅(12)由多块子光栅组成，每块子光栅所对应的波长窗口Δλm的衍射光方向分布在相同的范围之内，即θ1，1+i1，1＝θ2，2+i2，2＝...＝θn，n+in，n 式中：θm，k表示第m块子光栅对波长λk的衍射角，im，k表示第m块子光栅对波长λk的入射角；所述的环面聚焦镜(13)，在与光谱分布平行的方向具有较小的焦距，在与光谱分布垂直的方向具有较大的焦距，所述的光谱探测阵列(14)位于所述的环面聚焦镜(13)的较小焦距所对应的焦面上，该光谱探测阵列(14)通过多路图像采集与模数转换卡(15)与计算机(16)相连。