| 发明名称 |
弯曲压电式氧化锌纳米棒微电机(MEMS)振动传感器 |
| 摘要 |
本发明是将氧化锌纳米棒与微电机(MEMS)结构相结合，利用氧化锌纳米棒受力弯曲变形所产生压电效应和微电机中某部分能与另外部分产生相对运动，将振动机械能转换成电信号，达到振动传感的目的。与传统的振动传感器相比，其特点是体积小(在微米量级)，重量轻，不耗电或少耗电，灵敏度高。再加上氧化锌纳米棒的物理和化学稳定性好，所以该传感器可应用于广泛领域。 |
| 申请公布号 |
CN101294844A |
申请公布日期 |
2008.10.29 |
| 申请号 |
CN200710097874.3 |
申请日期 |
2007.04.23 |
| 申请人 |
万里兮 |
发明人 |
万里兮 |
| 分类号 |
G01H11/08(2006.01);B81B7/02(2006.01) |
主分类号 |
G01H11/08(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
1.一种振动传感器，其特征是：均匀垂直生长的氧化锌纳米棒阵列与微电机结构的结合； |
| 地址 |
100029北京市朝阳区北土城西路3号 |
