发明名称 The manner of production of thin layers of TiO2 and titanium target
摘要
申请公布号 PL382163(A1) 申请公布日期 2008.10.13
申请号 PL20070382163 申请日期 2007.04.10
申请人 POLITECHNIKA WROC&LSTROK,AWSKA 发明人 PROCIOW EUGENIUSZ LUDWIK;DOMARADZKI JAROS&LSTROK,AW;KACZMAREK DANUTA;BERLICKI TADEUSZ
分类号 C23C30/00;C23C14/22 主分类号 C23C30/00
代理机构 代理人
主权项
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