发明名称 FABRICATION OF InP CONTAINING SEMICONDUCTOR DEVICES HAVING HIGH AND LOW RESISTIVITY REGIONS
摘要 On utilise la propriété des matériaux dans le système InP selon laquelle, soumis à un bombardement de deutérons ou d'ions d'hélium, un matériau du type p devient très résistif mais un matériau du type n reste relativement conducteur pour fabriquer des circuits intégrés comportant des barres de bus ou des interconnexions de semi-conducteurs enterrées (14) entre les dispositifs (D1-D2).
申请公布号 WO8502493(A1) 申请公布日期 1985.06.06
申请号 WO1984US01676 申请日期 1984.10.18
申请人 AMERICAN TELEPHONE & TELEGRAPH COMPANY 发明人 CAPASSO, FEDERICO;FOCHT, MARLIN, WILBERT;MACRANDER, ALBERT, TIEMEN;SCHWARTZ, BERTRAM
分类号 H01L21/265;H01L21/266;H01L21/324;H01L21/74;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/822;H01L21/8252;H01L27/04;H01L27/15;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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