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发明名称 SUBSTRATE VOLTAGE GENERATOR OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPS60103660(A) 申请公布日期 1985.06.07
申请号 JP19840131241 申请日期 1984.06.27
申请人 INTERN BUSINESS MACHINES CORP 发明人 JIYON SUTANREE BAIARASU JIYUNIA;RICHIYAADO JIYOSEFU DANIERUSU;UIRIAMU JIEEMUZU MURAKU
分类号 H01L27/04;G05F3/20;H01L21/822;H01L27/02;H01L27/06 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
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