一种光感测元件

摘要

本发明提供一种光感测元件，包括一基板、一半导体层、一第一间介电层、一第二间介电层以及二电极；半导体层位于基板上，其包括第一与第二掺杂区及位于二掺杂区之间的本徵区；第一间介电层形成于半导体层上方，包含一第一氧化物层及一第一氮化物层；第二间介电层形成于第一间介电层上方，包括一第二氧化物层及一第二氮化物层；二电极设置于第二间介电层上，且分别连接至第一掺杂区及第二掺杂区。