| 发明名称 | 一种电子浆料雾化沉积直写装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种电子浆料雾化沉积直写装置，包括沉积喷嘴、基板、由控制器控制的工作台、二流体雾化喷嘴和对接喷管；二流体雾化喷嘴由位于雾化腔内的气体喷嘴和液体喷嘴构成；气体喷嘴通过导气管与气源相连，液体喷嘴与浆料导管的一端相连，浆料导管的另一端伸入至雾化腔的下部；导引管口位于雾化腔的上部；雾化腔上设有用于测量其气压的微压表；对接喷管位于泄压回收腔内、由共中心轴线的上、下喷管组成；上喷管通过导管与导引管口相连；下喷管通过连接管与沉积喷嘴相连；泄压回收腔上设有用于改变其气压的调节阀。本发明装置浆料雾化效果好，调节范围大，运行稳定，结构简单，操作方便，实用性强。 | ||
| 申请公布号 | CN100413598C | 申请公布日期 | 2008.08.27 |
| 申请号 | CN200610019527.4 | 申请日期 | 2006.06.30 |
| 申请人 | 华中科技大学 | 发明人 | 曾晓雁;李祥友;李敬;李金洪;王小宝 |
| 分类号 | B05C5/02(2006.01);B05C11/10(2006.01);B05B13/02(2006.01);H05K3/10(2006.01);H01L49/02(2006.01) | 主分类号 | B05C5/02(2006.01) |
| 代理机构 | 华中科技大学专利中心 | 代理人 | 曹葆青 |
| 主权项 | 1. 一种电子浆料雾化沉积直写装置，包括沉积喷嘴、基板和由控制器控制的工作台，沉积喷嘴或基板固定在工作台上；其特征在于：该装置还包括二流体雾化喷嘴和对接喷管；二流体雾化喷嘴由位于雾化腔(8)内的气体喷嘴(2)和液体喷嘴(4)构成；其中，气体喷嘴(2)通过导气管(1)与气源相连，液体喷嘴(4)与浆料导管(3)的一端相连，浆料导管(3)的另一端伸入至雾化腔(8)的下部；导引管口(6)位于雾化腔(8)的上部；雾化腔(8)上设有用于测量其气压的微压表(7)；对接喷管位于泄压回收腔(11)内、由共中心轴线的上、下喷管(9A、9B)组成；上喷管(9A)通过导管与导引管口(6)相连；下喷管(9B)通过连接管与沉积喷嘴(12)相连；泄压回收腔(11)上设有用于改变其气压的调节阀(10)。 | ||
| 地址 | 430074湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号 | ||