曝光用光源及使用它的曝光装置

摘要

课题 提供可因应于光阻层的曝光，而且制品寿命长的曝光用光源以及使用它的曝光装置。 解决手段 曝光用光源10是具备：分别具备内压不相同的灯24的至少两种以上的灯单元20(20a，20b，20c...)，及保持灯单元20(20a，20b，20c...)的灯单元座22，为其特征者。依照本发明，具备分别具备内压不相同的灯24的至少两种以上的灯单元20(20a，20b，20c...)之故，因而成为可选择性地发光将曝光对象物X予以曝光的最适当灯单元20(20a，20b，20c...)。