用于镀膜操作的固定装置

摘要

本发明涉及一种用于物理气相沉积镀膜操作的固定装置，其包括：支撑结构14，其包括圆形底部元件10、相对于圆形底部元件10的圆形顶部元件11以及连接圆形顶部元件11到圆形底部元件10的多个结构元件12；垂直环列于所述支撑结构14外周且形成圆柱状结构的多个面板元件13；所述面板元件13包括用于固持待镀膜工件19和35的多个孔，所述孔设置于所述面板元件13上，使得所述工件19和35在交错垂直方向排列。本发明也涉及一种使用本发明的固定装置对多个工件19和35，诸如燃气涡轮压缩机桨片和叶片同时镀抗蚀膜的方法。

主权项

1.一种用于镀膜操作的固定装置，该装置包括：支撑结构，其包括圆形的底部元件，与所述圆形底部元件相对的圆形的顶部元件，以及连接所述顶部元件至所述底部元件的多个结构元件；垂直环列于所述支撑结构外周且形成圆柱状结构的多个面板元件，所述面板元件固设于所述圆形顶部元件及所述圆形底部元件上；所述面板元件包括多个用于固持待镀膜工件的孔，所述孔朝外背离所述支撑结构，所述孔构造成用以接受所述工件的不需镀膜部分；所述面板元件包括多个板件，至少一些板件提供用于将孔内空间与孔外空间相隔离并固设所述工件于所述孔内的屏障；所述孔设置于所述面板元件上，使得所述工件沿垂直方向排列并使工件需要镀膜的部分伸到孔外空间，而不需要镀膜的部分保持在孔的内部空间内，使得孔内空间与孔外空间基本上不会穿过所述屏障而直接相通。