| 主权项 |
1.一种薄膜晶体管阵列面板的制造方法，包括下列步骤：形成一第一金属层于一基板上；施行一第一光刻工艺以图案化该第一金属层，于该基板上形成沿第一方向连续地延伸至少一栅极导线，以及沿一第二方向延伸的多个数据导线片段，其中该第一方向异于该第二方向且该些数据导线片段与该些栅极导线于交汇处为互相分隔；形成一绝缘层、一半导体层以及一欧姆接触层于该基板上；施行一第二光刻工艺以图案化该欧姆接触层、该半导体层以及该绝缘层，形成多个半导体结构以及多个堆栈结构，该些堆栈结构横跨该些数据导线片段与该些栅极导线于交汇处；形成一第二金属层于该基板上；施行一第三光刻工艺以图案化该第二导电金属层，于该些半导体结构上形成多个源极/漏极电极以及形成延伸于该些堆栈结构上且电连接该些数据导线片段的多条连续数据导线；形成一保护层于该基板上；施行一第四光刻工艺以图案化该保护层，形成多个介层洞并露出了该些数据导线与该些栅极导线的多个接垫以及该些源极/漏极电极之一；以及形成一透明导电层于该基板上，并填入于该些介层洞；施行一第五光刻工艺以图案化该透明导电层，形成多个像素电极以及储存电容器，其中该些储存电容器部分重叠于该些栅极导线上。 |
