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发明名称 Method and apparatus for using shuttered windows in a micro-electro-mechanical system
摘要
申请公布号 EP1003044(B1) 申请公布日期 2008.07.02
申请号 EP19990122147 申请日期 1999.11.05
申请人 XEROX CORPORATION 发明人 KUBBY, JOEL A.;PEETERS, ERIC;VITURRO, ENRIQUE R.;HUBBLE, FRED F. III;WALLACE, STANLEY J.;WERNER, ALAN J. JR.
分类号 G01R29/12;G01R15/16;G01R29/24;G03G15/00 主分类号 G01R29/12
代理机构 代理人
主权项
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