| 发明名称 | 基板处理装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种基板处理装置。反转装置包括固定板、以与固定板的一面相对向的方式设置的第一可动板、以与固定板的另一面相对向的方式设置的第二可动板以及旋转式促动器。旋转式促动器使第一可动板、第二可动板以及固定板围绕水平轴旋转。第一可动板与固定板之间的距离以及第二可动板与固定板之间的距离设定得与搬入搬出基板的主机械手的两个手部的高度差大致相等。 | ||
| 申请公布号 | CN101211812A | 申请公布日期 | 2008.07.02 |
| 申请号 | CN200710308112.3 | 申请日期 | 2007.12.27 |
| 申请人 | 大日本网目版制造株式会社 | 发明人 | 光吉一郎 |
| 分类号 | H01L21/687(2006.01);H01L21/677(2006.01);H01L21/67(2006.01);H01L21/00(2006.01);B65G47/248(2006.01);B65G49/07(2006.01);B65G49/06(2006.01);B08B3/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/687(2006.01) |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人 | 徐恕;马少东 |
| 主权项 | 1.一种反转装置，其特征在于，包括：第一保持机构，其将基板以垂直于第一轴的状态进行保持；第二保持机构，其将基板以垂直于所述第一轴的状态进行保持；支承构件，其用于支承所述第一以及第二保持机构，并使所述第一以及第二保持机构在所述第一轴的方向上重叠；旋转装置，其使所述支承构件与所述第一以及第二保持机构一起围绕与所述第一轴近似垂直的第二轴一体地旋转。 | ||
| 地址 | 日本京都府京都市 | ||