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发明名称
摘要
申请公布号 JP4106914(B2) 申请公布日期 2008.06.25
申请号 JP20020011182 申请日期 2002.01.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/3213;H01L29/786;H01L21/336 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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