| 发明名称 | 干涉光检测装置及校准该装置的方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种干涉光检测装置及校准该装置的方法，安装于刻蚀腔室的上电极的屏蔽盒内，调整旋钮设于屏蔽盒的外部，可通过调整旋钮对调整螺钉进行调整，进而对探头进行校准。每次调整探头时，不必将上电极屏蔽盒打开，调整旋钮可以在上电极屏蔽盒外面对探头支撑架的水平度进行调整。因此，可以实现在等离子体状态，即施加上电极电压的状态下仍然可以进行校准，使得校准方便而有效、准确。 | ||
| 申请公布号 | CN101207005A | 申请公布日期 | 2008.06.25 |
| 申请号 | CN200610169567.7 | 申请日期 | 2006.12.22 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 陈卓 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);H01L21/66(2006.01);H01L21/3065(2006.01);C23F4/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人 | 赵镇勇 |
| 主权项 | 1.一种干涉光检测装置，安装于刻蚀腔室的上电极的屏蔽盒内，包括安装在支撑架上的探头，支撑架上设有调整螺钉，用于对探头进行校准，其特征在于，还包括调整旋钮，所述调整旋钮设于所述屏蔽盒的外部，并与所述调整螺钉连接，可对调整螺钉进行调整。 | ||
| 地址 | 100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼 | ||