| 发明名称 |
UNTERSUCHUNGSVERFAHREN UND UNTERSUCHUNGSGERÄT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60320847(D1) |
申请公布日期 |
2008.06.19 |
| 申请号 |
DE20036020847 |
申请日期 |
2003.12.09 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD. |
发明人 |
SHINOZAKI, DAI;KOMATSU, SHIGEKAZU |
| 分类号 |
G01R1/06;G01R31/28;G01R31/3161;G01R31/319;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R1/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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