高折射率液体循环系统、图案形成装置及图案形成方法

摘要

本发明系提供不致使装置与制程构成趋于繁杂,并可抑制减少由高折射率液体所构成曝光液与洗净液的使用量,且能防止对基板发生处理不均情况的高折射率液体循环系统。高折防率液体循环系统9系具备有:第1回收部4a(其系将液浸曝光部30中所使用的高折射率液体回收)、第1供应部4b(其系将经第1回收部4a所回收的高折射率液体,以当作洗净液使用的方式,供应给后洗净单元(POCLN))、第2回收部4c(其系将后洗净单元(POCLN)中所使用的高折射率液体回收)、以及第2供应部4d(其系将经第2回收部4c所回收的高折射率液体,供应给液浸曝光部30),俾使高折射率液体在液浸曝光部30与后洗净单元(POCLN)之间进行循环。