发明名称 Single Electron Device Fabrication method thereof
摘要
申请公布号 KR100830203(B1) 申请公布日期 2008.05.16
申请号 KR20020001939 申请日期 2002.01.10
申请人 发明人
分类号 H01L29/775 主分类号 H01L29/775
代理机构 代理人
主权项
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