一种等离子体源及其应用

摘要

本发明公开了一种等离子源，包括螺旋管、阴极与阳极，其中螺旋管两端分别与阴极和阳极相连通，螺旋管为空心导体管制成，该中空导体螺旋管的内部通水冷却，其外表面被绝缘；在阳极、螺旋管和阴级之间设置直流电源，直流电源正极连通阳极，直流电源负极连通阴极。本发明等离源具有单端连接电源、大幅度自强化等离子体、等离子体纯净、电极中空轻便、螺旋管可直可弯、直径和长度的调节范围大和布局灵活等突出的特点。本发明等离子源可以在蒸发方式和低压气相沉积中应用。

主权项

1.一种等离子源，包括螺旋管、阴极与阳极，其特征在于：在阴极与阳极的电源通路中设置螺旋管，螺旋管为空心导体管制成，该中空导体螺旋管的内部通水冷却，其外表面被绝缘；在阳极、螺旋管和阴级之间设置直流电源，利用阴极与阳极之间的放电电流在流经围绕在其放电通道周围的螺旋管时产生空间电磁场，约束带电粒子和增强粒子的离化，构成一种新型等离子源。