| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung von Halbleiterbauelementen in einem Halbleitersubstrat |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE502004006238(D1) |
申请公布日期 |
2008.04.03 |
| 申请号 |
DE200450006238T |
申请日期 |
2004.09.17 |
| 申请人 |
ATMEL GERMANY GMBH |
发明人 |
DIETZ, FRANZ DIPL.-ING. (;DUDEK, VOLKER DR.;GRAF, MICHAEL DR. |
| 分类号 |
H01L21/336;H01L21/225;H01L21/265;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/8238;H01L27/08;H01L29/08;H01L29/10;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L21/336 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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