METODO DE ALAMBRADO METALICO PARA AGUJEROS CON SOCAVADURAS.

摘要

Se ha proporcionado un método de alambrado o cableado metálico para la conexión de un agujero que posee una socavadura en un proceso de empaquetamiento de un sistema mecánico microelectrónico (MEMS), en donde el método comprende: - la disposición de un elemento MEMS (23) sobre un sustrato de silicio (22); - la soldadura de una oblea o disco de vidrio (24) a una parte superior del sustrato de silicio (22), que posee el elemento MEMS (23) dispuesto encima, la oblea de vidrio (24), posee un agujero (26) formado dentro para la conexión de un alambrado metálico de la parte de arriba de la oblea de vidrio (24) a la parte superior del sustrato de silicio (22) y que posee una socavadura (28) en la parte de abajo del agujero; - la deposición de una capa fina de metal (27) para el alambrado metálico en el agujero, caracterizado porque el método comprende adicionalmente, el bombardeo iónico a la capa fina de metal depositada en el fondo del agujero.