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发明名称 Soft mems
摘要
申请公布号 AU2007293476(A1) 申请公布日期 2008.03.13
申请号 AU20070293476 申请日期 2007.06.01
申请人 THE BOARD OF TRUSTEES OF THE UNIVERSITY OF ILLINOIS 发明人 CRAIG TUCKER;CHANG LIU;CHANG LIU;YINGCHEN YANG;JONATHAN ENGEL;NANNAN CHEN;KEE RYU
分类号 B32B7/02;B81C99/00;G11C17/00 主分类号 B32B7/02
代理机构 代理人
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