薄膜电晶体及主动矩阵型显示装置及其制造方法

摘要

形成贯通闸极绝缘膜(5)之第1接触孔(6)，并于闸极绝缘膜(5)上形成闸极电极(7g)，并同时于第于第1接触孔内形成第1接触部(7s、7d)。形成贯通层间绝缘(8)膜之第2接触孔(9)，并于第2接触孔(9)内，形成第2接触部(10)。形成贯通平坦化膜(26)之第3接触孔(11)，并于第3接触孔(11)内形成电极(40)。为电性连接电极(40)与半导体膜(3)而利用复数个接触孔，而各接触孔可缩小长宽比，并实现良率提升、接触件之上面与底面之面积差降低所带来之高积体化等。