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发明名称
摘要
申请公布号 JP4054456(B2) 申请公布日期 2008.02.27
申请号 JP19980273650 申请日期 1998.09.28
申请人 发明人
分类号 H01L23/12;H01L29/73;H01L21/331;H01L21/60;H01L29/205;H01L29/737;H03F3/189;H03F3/60 主分类号 H01L23/12
代理机构 代理人
主权项
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