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发明名称 COMPOSITION AND METHOD FOR CVD DEPOSITION OF ZR/HF SILICATE FILMS
摘要
申请公布号 KR100804002(B1) 申请公布日期 2008.02.18
申请号 KR20077018011 申请日期 2007.08.03
申请人 发明人
分类号 C07C49/92;C23C16/18;C07F7/08;C09D1/00;C23C16/40 主分类号 C07C49/92
代理机构 代理人
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