工作台设备

摘要

至少一示范具体实施例系针对一工作台设备，该工作台设备包含一工作台，其可于第一方向中运动；一线性马达，其组构成在该第一方向中驱动该工作台；一磁铁单元，其具有设置在该工作台上之第一磁铁及设置在该工作台的一冲程之两端的第二磁铁，使得该第一及第二磁铁之相同磁极彼此相面对；及一支撑构件，其支撑该等第二磁铁。该支撑构件被可运动地支撑在该第一方向中。