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经营范围
发明名称
MIM电容结构及其形成方法
摘要
本发明为观于改良电容,其减少边缘缺陷(edge defect)且避免屈服破坏(yield failure)。本发明第一实施例包括一保护层,其邻近一导电层与一绝缘体之一界面,而本发明第二实施例包括一保护层,其位于一导电层上之一绝缘体上。
申请公布号
TW200810082
申请公布日期
2008.02.16
申请号
TW096115993
申请日期
2007.05.04
申请人
万国商业机器公司
发明人
伊逊艾班瑟E ESHUN, EBENEZER E.;波拉姆朗诺J BOLAM, RONALD J.;库柏格道格拉斯D COOLBAUGH, DOUGLAS D.;多聂斯基斯E DOWNES, KEITH E.;菲千费得纳塔利B FEILCHENFELD, NATALIE B.;黑榕新
分类号
H01L27/04(2006.01)
主分类号
H01L27/04(2006.01)
代理机构
代理人
蔡坤财;李世章
主权项
地址
美国
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