Verfahren zum Reduzieren der Kontamination durch Vorsehen einer zu entfernenden Polymerschutzschicht während der Bearbeitung von Mikrostrukturen

摘要

Durch Vorsehen einer Schutzschicht in einer Fertigungszwischenphase wird ein erhöhter Oberflächenschutz im Hinblick auf Partikelkontamination und Oberflächenkorrosion erreicht. In einigen anschaulichen Ausführungsformen wird die Schutzschicht während eines elektrischen Testverfahrens verwendet, wobei entsprechende Kontaktbereiche durch die Schutzschicht hindurch kontaktiert werden, wodurch die Teilchenkontamination während eines entsprechenden Messprozesses deutlich verringert wird.