双极型静电卡盘

摘要

本发明公开了一种双极型静电卡盘，其特征在于，包括：卡盘本体，具有安装面；环状电极部件，具有开口、形成环状，并介由粘合层固定在上述卡盘本体的安装面上；内侧电极部件，距离环状电极部件规定的间隔地配置在该环状电极部件的开口内，并介由粘合层固定在上述安装面上；和外侧电极部件，距离环状电极部件规定的间隔地配置在上述环状电极部件的外侧，并介由粘合层固定在上述安装面上，其中，上述内侧电极部件和外侧电极部件构成第一电极，上述环状电极部件构成第二电极。与现有的双极型静电卡盘相比，容易制造，并且在使用后，可以容易地分离构成静电卡盘的卡盘本体和各个电极部件，从而可以实现高效的再利用。

主权项

1.一种双极型静电卡盘，其特征在于，包括：卡盘本体，具有安装面；环状电极部件，具有中央开口、形成环状，并固定在上述安装面上；内侧电极部件，距离环状电极部件规定的间隔地配置在环状电极部件的中央开口内，并固定在上述安装面上；和外侧电极部件，距离环状电极部件规定的间隔地配置在环状电极部件的外侧，并固定在上述安装面上，其中，在组装时，环状电极部件、内侧电极部件以及外侧电极部件分别通过粘合层固定在安装面上，卡盘本体与上述内侧电极部件和外侧电极部件一起构成第一电极，上述环状电极部件构成第二电极，在使用后，环状电极部件、内侧电极部件和外侧电极部件可以从安装面分离。