发明名称 光活性化合物
摘要 本发明涉及可用于配制光刻胶组合物的新型光活性化合物。
申请公布号 CN100363343C 申请公布日期 2008.01.23
申请号 CN200480013376.0 申请日期 2004.05.07
申请人 AZ电子材料美国公司 发明人 M·D·拉曼;F·M·霍利亨
分类号 C07C381/12(2006.01);G03F7/004(2006.01) 主分类号 C07C381/12(2006.01)
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 刘明海
主权项 1.下式化合物Y-Ar其中Ar选自<img file="C2004800133760002C1.GIF" wi="437" he="390" />Y是<img file="C2004800133760002C2.GIF" wi="279" he="334" />其中W选自<img file="C2004800133760002C3.GIF" wi="420" he="593" />和<img file="C2004800133760002C4.GIF" wi="419" he="561" />其中R<sub>3A</sub>是Z;R<sub>1A</sub>,R<sub>1C</sub>,R<sub>2A</sub>,R<sub>2C</sub>,R<sub>2D</sub>,R<sub>3C</sub>,R<sub>3D</sub>,R<sub>4A</sub>,R<sub>4C</sub>,R<sub>4D</sub>,R<sub>5A</sub>和R<sub>5C</sub>,分别独立地选自Z,氢,任选包含一个或多个O原子的C<sub>1-20</sub>直链或支链烷基链,C<sub>5-50</sub>单环,双环,或三环状烷基,C<sub>5-50</sub>环状烷基羰基,C<sub>5-50</sub>芳基,C<sub>5-50</sub>芳烷基,芳基羰基亚甲基,C<sub>1-20</sub>直链或支链烷氧基链,硝基,氰基,tresyl,或羟基;(i)R<sub>1D</sub>或R<sub>5D</sub>之一是硝基,且另一个选自氢,任选包含一个或多个O原子的C<sub>1-20</sub>直链或支链烷基链,C<sub>5-50</sub>单环,双环,或三环状烷基,C<sub>5-50</sub>环状烷基羰基,C<sub>5-50</sub>芳基,C<sub>5-50</sub>芳烷基,芳基羰基亚甲基,氰基,或羟基,或(ii)R<sub>1D</sub>和R<sub>5D</sub>两者都是硝基;Z是-(V)<sub>j</sub>-(C(X11)(X12))<sub>n</sub>-O-C(=O)-R<sub>8</sub>,其中(i)X11或X12之一是包含至少一个氟原子的C<sub>1-20</sub>直链或支链烷基链,且另一个是氢,卤素,或C<sub>1-20</sub>直链或支链烷基链,或(ii)X11和X12两者都是包含至少一个氟原子的C<sub>1-20</sub>直链或支链烷基链;V是键接基团,选自直接键,任选包含一个或多个O原子的二价C<sub>1-20</sub>直链或支链烷基,二价C<sub>5-50</sub>芳基,二价C<sub>5-50</sub>芳烷基,或二价C<sub>5-50</sub>单环,双环或三环状烷基;X2是氢,卤素,或任选包含一个或多个O原子的C<sub>1-20</sub>直链或支链烷基链;R<sub>8</sub>是任选包含一个或多个O原子的C<sub>1-20</sub>直链或支链烷基链,C<sub>5-50</sub>单环,双环,或三环状烷基,或C<sub>5-50</sub>芳基;X3是氢,C<sub>1-20</sub>直链或支链烷基链,卤素,氰基,或-C(=O)-R<sub>50</sub>,其中R<sub>50</sub>选自任选包含一个或多个O原子的C<sub>1-20</sub>直链或支链烷基链或-O-R<sub>51</sub>,其中R<sub>51</sub>是氢或C<sub>1-20</sub>直链或支链烷基链;j是0至10;m是0至10;和n是0至10,所述任选包含一个或多个O原子的C<sub>1-20</sub>直链或支链烷基链,C<sub>1-20</sub>直链或支链烷基链,C<sub>1-20</sub>直链或支链烷氧基链,C<sub>5-50</sub>单环,双环,或三环状烷基,C<sub>5-50</sub>环状烷基羰基,C<sub>5-50</sub>芳烷基,C<sub>5-50</sub>芳基,萘基,蒽基,任选包含一个或多个O原子的5-,6-,或7-元饱和或不饱和环,或芳基羰基亚甲基是未取代的或被一个或多个选自以下的基团取代:Z,卤素,C<sub>1-20</sub>烷基,C<sub>3-20</sub>环状烷基,C<sub>1-20</sub>烷氧基,C<sub>3-20</sub>环状烷氧基,二C<sub>1-20</sub>烷基氨基,二环二C<sub>1-20</sub>烷基氨基,羟基,氰基,硝基,tresyl,氧代,芳基,芳烷基,氧原子,CF<sub>3</sub>SO<sub>3</sub>,芳基氧基,芳基硫代,和具有通式(II)至(VI)的基团:<img file="C2004800133760003C1.GIF" wi="1682" he="229" />其中R<sub>10</sub>和R<sub>11</sub>分别独立地表示氢原子,任选包含一个或多个O原子的C<sub>1-20</sub>直链或支链烷基链,或C<sub>5-50</sub>单环,双环,或三环状烷基,或R<sub>10</sub>和R<sub>11</sub>一起可表示亚烷基以形成五-或六-元环,R<sub>12</sub>表示任选包含一个或多个O原子的C<sub>1-20</sub>直链或支链烷基链,C<sub>5-50</sub>单环,双环,或三环状烷基,或C<sub>5-50</sub>芳烷基,或R<sub>10</sub>和R<sub>12</sub>一起表示与插入的-C-O-基团一起形成五-或六-元环的亚烷基,所述环中的碳原子任选被氧原子取代,R<sub>13</sub>表示任选包含一个或多个O原子的C<sub>1-20</sub>直链或支链烷基链或C<sub>5-50</sub>单环,双环,或三环状烷基,R<sub>14</sub>和R<sub>15</sub>分别独立地表示氢原子,任选包含一个或多个O原子的C<sub>1-20</sub>直链或支链烷基链或C<sub>5-50</sub>单环,双环,或三环状烷基,R<sub>16</sub>表示任选包含一个或多个O原子的C<sub>1-20</sub>直链或支链烷基链,C<sub>5-50</sub>单环,双环,或三环状烷基,C<sub>5-50</sub>芳基,或C<sub>5-50</sub>芳烷基,和R<sub>17</sub>表示任选包含一个或多个O原子的C<sub>1-20</sub>直链或支链烷基链,C<sub>5-50</sub>单环,双环,或三环状烷基,C<sub>5-50</sub>芳基,C<sub>5-50</sub>芳烷基,基团-Si(R<sub>16</sub>)<sub>2</sub>R<sub>17</sub>,或基团-O-Si(R<sub>16</sub>)<sub>2</sub>R<sub>17</sub>,所述任选包含一个或多个O原子的C<sub>1-20</sub>直链或支链烷基链,C<sub>5-50</sub>单环,双环,或三环状烷基,C<sub>5-50</sub>芳基,和C<sub>5-50</sub>芳烷基是未取代的或被如上取代的。
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