发明名称 COATING FILM FORMING APPARATUS AND COATING FILM FORMING METHOD
摘要
申请公布号 KR100797721(B1) 申请公布日期 2008.01.23
申请号 KR20010067417 申请日期 2001.10.31
申请人 发明人
分类号 G03F7/16;H01L21/027;B05C11/08;B05C11/10;B05D1/40;B05D3/00;B05D7/00;G03F7/26;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
主权项
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