模拟装置、记录有模拟程式且为电脑可判读之媒体、以及模拟方法

摘要

〔课题〕提供一种能在短计算时间之内，进行考虑有尺度相异之2个的现象之相互作用的模拟之模拟装置。〔解决手段〕一种模拟装置，系为将有关于半导体装置之半导体制程的模拟，根据在半导体制程中所使用之化学种与半导体装置间的反应现象而进行之模拟装置，其特征为：具备有：模拟部，其系计算出因应于半导体装置之细微构造B又或是复数之材质的化学种与半导体装置间之反应确率又或是化学种之失活确率，并根据反应确率又或是失活确率，而模拟反应炉内部之物理现象。