发明名称 |
MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5513951(A) |
申请公布日期 |
1980.01.31 |
申请号 |
JP19780087291 |
申请日期 |
1978.07.18 |
申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
INOUE SHINICHI;TOYOKURA NOBUO;SHIRAKI MASARU;ISHIKAWA HAJIME |
分类号 |
H01L29/78;H01L21/283;H01L21/31;H01L21/316;H01L29/417 |
主分类号 |
H01L29/78 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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