VPE反应器之原料源容器

摘要

本发明系有关一种VPE涂布装置之原料源配置，其包括一开口向上容置一液态或固态原料(1)之容器(2)、一与原料(1)反应生成一制程气体(5)之反应气体(4)输入管(3)及一直接覆盖原料(1)之盖板。为使原料源的反应达到时间稳定性，本发明使盖板(6)与原料(1)表面之间有一使反应气体(4)平行于原料表面(7)通过的空隙(8)，而输入管(3)通到该空隙。