气体歧管阀丛集

摘要

本发明大致关系于一用以半导体处理的沈积设备。更明确地说，本发明的实施例有关于气体歧管阀丛集及沈积设备。于本发明的部份实施例中，本发明为一气体歧管阀丛集及系统，其提供减少的气体管路于清洗时曝露至大气的长度与体积，因而，最小化执行处理室维护所需的时间并因而增加处理室的生产力。于其他实施例中，设有一气体歧管阀丛集与系统，其系在半导体处理时，特别是当原子层沈积(ALD)时，提升气体的快速致动。