组合合成之系统及方法

摘要

本发明揭示以有效且高效之方式合成新型功能材料之方法。此等方法包括物理气相沈积及雷射辅助磊晶成长，其能够合成复数个包含化学及/或物理性质类似或不类似之前驱体之材料。所设计材料形成于组合合成期间，不必进行沈积后炉加热以用热来活化前驱体多层之同时反应及扩散。调变光反射光谱可用来筛选库区域，以评估沈积条件。