PROCEDE EN PHASE GAZEUSE POUR LA PRODUCTION DE PARTICULES NANOMETRIQUES

摘要

L'invention concerne un procédé en phase gazeuse pour la production de particules nanométriques (10) dans un réacteur (11) de production de particules en phase gazeuse, dans lequel il y a interaction entre un flux réactionnel (14) et un flux d'énergie (15). Ce procédé comprend les étapes suivantes :- une étape de couplage d'un appareil de production de chlorures gazeux (12) à ce réacteur (11),- une étape de production de chlorures gazeux à partir d'un précurseur de base sous forme de poudres (20), et- une étape d'injection d'un tel flux réactionnel (14) dans le réacteur (11).